揮発性化学物質を加熱するときの安全対策 正直に言って、半導体の洗浄に使う化学薬品を加熱するのは非常に危険な作業です。火災や爆発しやすい溶剤を扱う際、わずかな火花や露出した加熱要素だけでも、単なる「技術的な問題」では済みません。それは大惨事を引き起こす可能性があります。 そのため、私たちは開放型のラ...

製造現場において、PECVDチャンバーの温度は単なる背景設定ではありません。それは、プロセスが成功するか失敗するかを決定する重要な要素です。サブセプターの温度が1℃だけ変動しても、フィルムの応力やエッチング速度にすぐに影響が現れます。もし赤外線エミッターが適切な性能を発揮できなければ、もはや仕様を...

リソグラフィーにおいて、ウェーハ乾燥オーブンの役割は単に水分を除去するだけではありません。それは、その後行われる各種フォトレジストのソフトベイクやハードベイクのための熱的条件を決定するものです。チャック部に2℃の温度差が生じると、線幅に変化が生じますが、この変化は、測定結果には現れず、問題が発生し...