クラス100のクリーンルームを、汚れることなく暖める方法 クラス100のクリーンルームで作業するとき、最も避けたいのは、ヒーターが「コンフェティガン」として機能してしまうことです。 一般的なヒーターには、ガスや破片が放出されるという悪い癖があります。もし、わずかな微粒子がウェーハや光学コーティング...

なぜファブでは熱風を使う代わりに赤外線ランプを使用するのか？ 半導体加工の現場で働いたことがある人なら、熱風オーブンの問題点はよくわかるでしょう。オーブンを起動してから、しばらく待つ必要があります。まるで、1枚のウェハーを温めるためだけに部屋全体を加熱しているようです。 そのため、多くの人々が認定...

もう、熱風に頼るのはやめましょう。金メッキされた赤外線ランプを使えば、そんな手間は不要です。半導体製造において、このような遅れは単に面倒なだけでなく、コストの無駄にもつながります。 私たちは、より良い方法を見つけました。ツインチューブ式の金メッキ赤外線ランプを使用することで、空気に頼るのではなく、...

力を無駄にしない：ファブランプを効果的に扱う方法 半導体製造工場では、電力を無駄にすることは、つまりお金を捨てるようなものです。ウェーハ処理のために高出力のランプを使用する際、その赤外線エネルギーの多くは実際には対象物に当たりません。代わりに、そのエネルギーは後ろに反射したり、空間中に散乱してしま...

ウェーハの硬化処理を行う際には、完璧な熱分布が必要です。それだけです。しかし問題は、もしランプに電気的な漏れがあったり、絶縁体が劣化したりすると、単にランプ自体が壊れるだけでなく、ウェーハ全体が台無しになり、制御ボードも破損してしまいます。これはとても大きな損失です。 そうならないように、私たちは...

無駄な時間を費やすのはやめよう：なぜUHP赤外線が最適なのか もし依然として半導体製造において熱風を利用しているのであれば、おそらく待つだけで多くの時間を浪費していることでしょう。 熱風の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、それを循環させてから、ウェーハが望ましい温度に達するのを待たなけ...

IRエネルギーを無駄にしないでください 正直に言って、エネルギーの無駄遣いは、基本的には設計上の欠陥です。ウェーハ処理の際にも、これはよく見られる問題です。多くの人が標準的なアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、そのIRエネルギーの多くが外に漏れ出したり、ケースに吸収されてしまうことです...

気化性の化学物質を加熱するときには、安全を守ることが重要です。正直に言うと、化学洗剤を加熱するのは非常に危険な作業です。通常、可燃性の蒸気が発生し、火花や反応が起きて工場全体が危険な状態になってしまう可能性があります。 一般的な短波長のIRランプは、このような状況では問題を引き起こす可能性がありま...

バイオセンサーの製造において、適切な温度を保つことは非常に重要です。温度が高すぎても低すぎてもダメで、ちょうど良い温度でなければなりません。そうでないと、基板が変形したり、化学結合が壊れてしまいます。 長い間、私たちはすべてを対流式オーブンに任せてきました。しかし、現代のデジタル化された生産ライン...

化学薬品を使用する洗浄ラインにおいて、IRヒーティング装置を安全に使うためにはどうすればよいのでしょうか？正直言って、通常の赤外線ランプでは化学薬品を使う環境では十分ではありません。すぐに故障してしまいます。そして、可燃性の溶剤が高電圧の発熱要素の近くにある場合、単なる機器の故障だけでなく、爆発の...

カーボンファイバー製の赤外線ランプがフューズを吹き飛ばすのを防ぐために カーボンファイバー製の赤外線ランプは、非常に高い熱にさらされる上、特定の電圧が必要です。このようなランプを高級な産業用機器に使用する場合、失敗は許されません。わずかな絶縁不良があっただけで、ブレーカーが作動したり、最悪の場合は...

はじめに 私たちは、製造ラインや包装ライン用の交換可能なフィラメントランプを製造しています。元のランプと同じ性能を発揮しつつ、コストを抑えることができる熱源が必要です。私たちが製造するファウンドリグレードの赤外線ランプは、元のランプと完全に互換性があります。サイズや熱特性も同一なので、工程の妨げに...

ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時に発生する温度変動は、単なる非効率性にとどまらず、歩留まりを低下させる要因となります。ウェーハ上で3℃もの温度差が生じると、重要な寸法が狂ってしまいます。また、昇温速度が遅いと溶剤が残留し、欠陥が生じる可能性があります。SK15赤外線ランプは、このような問題を...

製造現場において、乾燥温度のばらつきは些細な問題ではありません。これは製品の歩留まりに大きな影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクの期間自体が厳しく設定されているため、ウェーハ全体で温度が均一でなければ、露光後に寸法の誤差が生じます。私たちは、このようなばらつきを根本的に防ぐために、このウェー...

製造現場では、スピンドライヤーから出てくるウェーハの温度が1.2℃でも偏差があると、リソグラフィーの要求条件を超えてしまうことをすぐに理解できます。ノードサイズが小さくなるにつれて、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの許容範囲もより厳しくなります。当然のことです。ドライヤーランプは、再現性...

ライン上では、その300mmのウェーハが、Mini LEDチップのパッケージング工程における加熱ステップを待っています。このステップこそが、チップとウェーハの密着性や信頼性を確保するためのものです。もし加熱条件がわずかにでも変動してしまうと、フォトレジストの形状が崩れ、アンダーフィルによる空洞が生...

ファブフロア上では、フォトレジスト内やウェハ界面に閉じ込められた水分が熱制御に支障をきたす。水分は熱を散乱させ、ソフトベイクおよびハードベイクのプロファイルが目標からずれる。結果として、フット印、スカム、ライン幅の偏差が生じ、歩留まりを低下させる。この変動要因を排除するために、ウェハ水分除去用のラ...