クラス100のクリーンルームを、汚れることなく暖める方法
クラス100のクリーンルームで作業するとき、最も避けたいのは、ヒーターが「コンフェティガン」として機能してしまうことです。
一般的なヒーターには、ガスや破片が放出されるという悪い癖があります。もし、わずかな微粒子がウェーハや光学コーティングに付着してしまうと、そのロット全体が台無しになってしまいます。私たちも何度もそのような事態を経験してきました。そのため、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用しています。
秘密は石英にあります。
安価なガラスや劣悪な品質の石英では、その熱に耐えられません。熱応力によって破壊され、破片が飛び散ってしまいます。しかし、当社の高純度石英は違います。急激な温度変化にも耐えられ、割れたり剥がれたりすることはありません。
その結果、ランプから出てくるのは赤外線だけです。ほこりも、破片も、問題もありません。
数字と空気について話しましょう。
正確な熱量を得るために、ワット数や電圧を調整するのに多くの時間を費やします。迅速に温度を上げたい場合は、高ワット数のランプが適しています。
ただし、注意点があります。ベンチの換気をしっかり行う必要があります。もし空気の流れが滞ってしまうと、熱がランプ内部に戻ってしまいます。これはフィラメントを破壊する原因になります。
また、電気的な接続をしっかり保つために、R7やSk15といった専用のコネクタを使用しています。なぜかというと、接続不良によってアークが発生し、炭素沈着物が残ってしまいます。そして、クリーンルームでは炭素はまさに毒です。
設置時の注意点
これらのランプは、簡単に交換できるように設計されています。小さなサイズのため、狭い場所でも問題なく設置できます。
しかし、注意が必要です。高純度の石英は繊細です。皮脂を嫌います。設置時に素手で触ってしまうと、その皮脂がガラスに付着してしまいます。これにより「ホットスポット」ができ、ランプが壊れる可能性があります。
自分を大切にしてください：無繊維の手袋を使ってください。2秒しかかかりませんが、それによってランプが早期に壊れるのを防げます。