クラス100のクリーンルームを、汚れることなく暖める方法 クラス100のクリーンルームで作業するとき、最も避けたいのは、ヒーターが「コンフェティガン」として機能してしまうことです。 一般的なヒーターには、ガスや破片が放出されるという悪い癖があります。もし、わずかな微粒子がウェーハや光学コーティング...

クリーンルームを清潔に保つために：加熱に関する真実 もし、クラス100のクリーンルームを運営しているなら、エアフィルターだけでは不十分であることは既にご存知でしょう。本当の問題は、見えないところで発生する問題です。 ほとんどの加熱ランプは、クリーンルームにおいては大きな悩みの種です。温度が最高値に...