ウェハー水分除去ランプ

ファブフロア上では、フォトレジスト内やウェハ界面に閉じ込められた水分が熱制御に支障をきたす。水分は熱を散乱させ、ソフトベイクおよびハードベイクのプロファイルが目標からずれる。結果として、フット印、スカム、ライン幅の偏差が生じ、歩留まりを低下させる。この変動要因を排除するために、ウェハ水分除去用のラ...