
クリーンルームを清潔に保つために:加熱に関する真実
もし、クラス100のクリーンルームを運営しているなら、エアフィルターだけでは不十分であることは既にご存知でしょう。本当の問題は、見えないところで発生する問題です。
ほとんどの加熱ランプは、クリーンルームにおいては大きな悩みの種です。温度が最高値に達すると、ガラスが剥がれ落ちたり、VOCが放出されたりします。私たちの世界では、わずかなガラスの破片でも、大量のウェーハを台無しにしてしまいます。それは莫大な損失につながります。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英を使用しています。
なぜこの素材が重要なのか
私たちは、不純物がほとんど含まれていない融結シリカを使用しています。安価なガラスのように、目立つ曇りやスケールが発生することはありません。
非常に清潔です。本当に清潔です。
表面の汚れを完全に取り除くために、急速に温度を上げ下げしても、粒子が飛散する心配はありません。常に均一で純粋な熱が得られます。
パワーと熱(汚れなしで)
使用するスペースに応じて、ワット密度を調整できます。
迅速な加熱が必要な場合は短波を使用し、一定の温度を維持したい場合は中波を使用します。どちらの場合も、熱は直接対象物に伝わります。
最も良い点は、熱伝達が直線的であるため、ランプの周囲の空気が加熱されることはありません。これにより、HVACシステムの負担が軽減され、部屋の温度を適切に保つことができます。
実用性について
設置も簡単です。標準的な産業用コネクタを使用しているので、簡単に接続できます。特殊なアダプターやブラケットを探す必要はありません。
ただし、高純度の石英は強化ガラスほど丈夫ではありません。衝撃や振動に弱いので、設備が頻繁に振動したり扱われたりする場合は、硬質のマウントブラケットを使用しましょう。そうすれば、ガラスが割れてしまうのを防げます。
また、これらのランプは強力な熱を発生させるため、冷却ファンの容量も適切に選ぶ必要があります。空気の流れが悪くなってソケットが壊れることがないようにしましょう。