なぜファブでは熱風を使う代わりに赤外線ランプを使用するのか？ 半導体加工の現場で働いたことがある人なら、熱風オーブンの問題点はよくわかるでしょう。オーブンを起動してから、しばらく待つ必要があります。まるで、1枚のウェハーを温めるためだけに部屋全体を加熱しているようです。 そのため、多くの人々が認定...

力を無駄にしない：ファブランプを効果的に扱う方法 半導体製造工場では、電力を無駄にすることは、つまりお金を捨てるようなものです。ウェーハ処理のために高出力のランプを使用する際、その赤外線エネルギーの多くは実際には対象物に当たりません。代わりに、そのエネルギーは後ろに反射したり、空間中に散乱してしま...

なぜ、私たちはヒーターの外装に対して絶縁試験を徹底的に行うのか？ 私たちが製造するステンレス製のヒーター外装は、過酷な工業環境に耐えられるように設計されています。しかし、高ワット数の発熱体が金属で覆われている場合、接地故障が起こる可能性が常にあります。 だからこそ、私たちはリスクを冒しません。出荷...

クリーンルームを清潔に保つために：加熱に関する真実 もし、クラス100のクリーンルームを運営しているなら、エアフィルターだけでは不十分であることは既にご存知でしょう。本当の問題は、見えないところで発生する問題です。 ほとんどの加熱ランプは、クリーンルームにおいては大きな悩みの種です。温度が最高値に...

なぜ、ファブの乾燥処理にIR硬化技術を採用したのか ファブを運営する上で、「環境に優しく、鉛を含まない」ことは、単に監査のための要件を満たすだけではありません。実際にプロセスをよりクリーンにすることが重要です。長い間、私たちは大規模な対流式オーブンに頼ってきました。しかし、問題点があります。大量の...

爆発を防ぐために：化学処理エリアでの赤外線加熱 半導体製造工場で働いている人なら、この問題はよくわかるでしょう。化学的な洗浄処理は必要ですが、その過程では揮発性の高い溶剤が使用されます。もし、通常の赤外線ランプをその中に入れてしまうと、ウェーハを加熱するだけでなく、火災の危険も生じます。 私たちは...

カーボンファイバー製の赤外線ランプがフューズを吹き飛ばすのを防ぐために カーボンファイバー製の赤外線ランプは、非常に高い熱にさらされる上、特定の電圧が必要です。このようなランプを高級な産業用機器に使用する場合、失敗は許されません。わずかな絶縁不良があっただけで、ブレーカーが作動したり、最悪の場合は...

はじめに 私たちは、製造ラインや包装ライン用の交換可能なフィラメントランプを製造しています。元のランプと同じ性能を発揮しつつ、コストを抑えることができる熱源が必要です。私たちが製造するファウンドリグレードの赤外線ランプは、元のランプと完全に互換性があります。サイズや熱特性も同一なので、工程の妨げに...

実際には、温度のばらつきというのは単なる理論上の問題ではなく、重大な問題です。LCDパネルの製造過程において、フォトレジストを加熱する際に一点だけが過度に加熱されると、画像の重ね合わせが悪くなります。また、低温の領域があると、端部分の硬化が不十分になります。私たちは、このようなばらつきを根本から解...