TSV スルーシリコンビア ヒーター

線上では温度ドリフトは理論ではなく不良品そのものです。TSV作業において、ウェーハ全体で0.5℃の温度差は、ビアのエッチング深さのばらつき、フォトレジストの形状不良、積層の保持不良として現れます。熱安定性を単なる期待ではなく工程要件として扱うヒーターが必要です。 技術的に重要な点 当社のTSVヒー...