もう、ランプの故障について夢見るのはやめましょう。代わりに、それに備えて計画を立てましょう。 もし、真空チャンバー内で高負荷の生産を行っているなら、その悪夢のような状況をご存知でしょう。ランプが壊れてしまうと、単に停止するだけでは済まず、完全に大混乱に陥ります。クォーツやタングステンの破片が至る所...

フォトレジストの焼成工程において、線幅の制御は非常に重要です。ヒーターの温度が0.5°Cでもずれると、CDのズレや不良品が発生します。Leyboldの真空ヒーターの予備部品は、真空中で何時間も安定した温度を維持するように設計されています。 技術的に重要な点 私たちは、高純度クォーツを使用した短波ハ...