時間の無駄をやめよう：ウェーハ加熱においてIR加熱がホットエアより優れている理由 半導体製造に携わったことがある人なら、待つという行為のイライラ感を知っているはずです。 ホットエアを使う方法は、まるで家全体を温めるためにコーヒー一杯を温めようとするようなものです。まずチャンバーを温め、次に空気を温...

ウェーハの硬化処理を行う際には、完璧な熱分布が必要です。それだけです。しかし問題は、もしランプに電気的な漏れがあったり、絶縁体が劣化したりすると、単にランプ自体が壊れるだけでなく、ウェーハ全体が台無しになり、制御ボードも破損してしまいます。これはとても大きな損失です。 そうならないように、私たちは...

なぜ、IRセンサーの絶縁性能テストをこだわって行うのか？ 私たちの工場から出荷されるすべてのIRセンサーランプについて、必ずテストを行います。一つ残らずです。耐電圧試験や絶縁抵抗試験を行うのは、ウェハ製造過程において、わずかな電気漏れでも大問題になるからです。それによってセンサーが壊れるだけでなく...

ウェーハ加熱装置が実験室を破壊するのを防ぐ方法 正直に言えば、化学的な清掃を行う場所でウェーハを加熱するのは非常に危険な作業です。可燃性や爆発性のある物質がある環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険要素となります。わずかな火花や端子の過熱だけで、火災が発生する可能性があります...

ツールを加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう 通常の赤外線ランプは、基本的には電球のようなもので、熱をあらゆる方向に放出します。ウェーハ処理用の装置では、これは大きな問題となります。 加熱を強くすると、そのエネルギーの大部分がウェーハに届かず、代わりに装置の内壁に当たってしまいます。その結...

なぜ無鉛半導体の乾燥に赤外線を利用するのか MEMSセンサーワイヤーを乾燥させる際、それは非常に危険な作業です。微細で繊細な構造から水分をすべて取り除かなければならないのですが、その過程でワイヤーが壊れたり変形したりしてはいけません。 長年にわたり、人々は対流式オーブンや化学薬品を使ってこの作業を...

はじめに 私たちはハロゲン加熱ランプを製造していますが、それは一般のワークショップで見られるようなものではありません。これらは、ファウンドリ内のウェーハ処理ライン用に特別に設計されているのです。これらは直接取り付け可能なスペア部品であり、強力で再現性の高い加熱が求められる高度なファウンドリ向けに設...

ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時に発生する温度変動は、単なる非効率性にとどまらず、歩留まりを低下させる要因となります。ウェーハ上で3℃もの温度差が生じると、重要な寸法が狂ってしまいます。また、昇温速度が遅いと溶剤が残留し、欠陥が生じる可能性があります。SK15赤外線ランプは、このような問題を...

製造現場において、乾燥温度のばらつきは些細な問題ではありません。これは製品の歩留まりに大きな影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクの期間自体が厳しく設定されているため、ウェーハ全体で温度が均一でなければ、露光後に寸法の誤差が生じます。私たちは、このようなばらつきを根本的に防ぐために、このウェー...

製造現場では、スピンドライヤーから出てくるウェーハの温度が1.2℃でも偏差があると、リソグラフィーの要求条件を超えてしまうことをすぐに理解できます。ノードサイズが小さくなるにつれて、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの許容範囲もより厳しくなります。当然のことです。ドライヤーランプは、再現性...

リソグラフィーにおいて、ウェーハ乾燥オーブンの役割は単に水分を除去するだけではありません。それは、その後行われる各種フォトレジストのソフトベイクやハードベイクのための熱的条件を決定するものです。チャック部に2℃の温度差が生じると、線幅に変化が生じますが、この変化は、測定結果には現れず、問題が発生し...