機械全体を加熱するのではなく、部品だけを加熱しましょう ほとんどの赤外線ヒーターは、熱をあちこちに放散してしまいます。360度に向かって熱が放射されるため、部屋全体を温めるのには適していますが、狭い半導体ケースの中では問題です。 熱があちこちに行ってしまうと、実際に加熱したい部品ではなく、機械の内...

製造現場において、乾燥温度のばらつきは些細な問題ではありません。これは製品の歩留まりに大きな影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクの期間自体が厳しく設定されているため、ウェーハ全体で温度が均一でなければ、露光後に寸法の誤差が生じます。私たちは、このようなばらつきを根本的に防ぐために、このウェー...