露光後焼成 PEB ヒーター

リソグラフィー工程において、PEBの温度変動は警告灯としては表示されません。代わりに、ウェーハ全体にわたって線幅が変動し、その結果、どのような原因かを特定できない歩留まりの低下が生じます。ファブでは、熱的な再現性は単なる好みというものではありません。それはプロセス制御において極めて重要な要素です。...