ウェハー加熱時の安全距離

時間の無駄をやめよう：ウェーハ加熱においてIR加熱がホットエアより優れている理由 半導体製造に携わったことがある人なら、待つという行為のイライラ感を知っているはずです。 ホットエアを使う方法は、まるで家全体を温めるためにコーヒー一杯を温めようとするようなものです。まずチャンバーを温め、次に空気を温...