IRランプがウエハーを損傷させるのを防ぎましょう。 高負荷の半導体製造環境では、1つの不良なランプだけで、数秒で大量のウエハーが破壊されてしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。石英管が破れると、ガラスの破片や微粒子が直接ウエハー上に降り注ぎます。 そこで、私たちはセラミック製のエンドキャップを...

製造現場において、PECVDチャンバーの温度は単なる背景設定ではありません。それは、プロセスが成功するか失敗するかを決定する重要な要素です。サブセプターの温度が1℃だけ変動しても、フィルムの応力やエッチング速度にすぐに影響が現れます。もし赤外線エミッターが適切な性能を発揮できなければ、もはや仕様を...