なぜクリーンルームで熱風の代わりに赤外線を使うのか？ 半導体製造の過程では、すべては「時間」にかかっています。 もし今でも加熱や乾燥、脱気のために強制送風を使っているのであれば、オーブンの処理速度が追いつかないという問題に悩んだことがあるでしょう。だからこそ、多くの人々が赤外線加熱を採用しているの...

ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時に発生する温度変動は、単なる非効率性にとどまらず、歩留まりを低下させる要因となります。ウェーハ上で3℃もの温度差が生じると、重要な寸法が狂ってしまいます。また、昇温速度が遅いと溶剤が残留し、欠陥が生じる可能性があります。SK15赤外線ランプは、このような問題を...

リソグラフィーにおいて、ウェーハ乾燥オーブンの役割は単に水分を除去するだけではありません。それは、その後行われる各種フォトレジストのソフトベイクやハードベイクのための熱的条件を決定するものです。チャック部に2℃の温度差が生じると、線幅に変化が生じますが、この変化は、測定結果には現れず、問題が発生し...