ウェーハ用高精度IRセンサー
なぜ、IRセンサーの絶縁性能テストをこだわって行うのか? 私たちの工場から出荷されるすべてのIRセンサーランプについて、必ずテストを行います。一つ残らずです。耐電圧試験や絶縁抵抗試験を行うのは、ウェハ製造過程において、わずかな電気漏れでも大問題になるからです。それによってセンサーが壊れるだけでなく...
電子機器用高精度赤外線ヒーター
300mmラインにおいて、フォトレジストのベーク中に0.5℃のドリフトが発生すると、クリティカルディメンション制御が仕様外に逸脱する要因となる。SPCチャート上で逸脱が確認されると、スクラップが急速に増加する。そこで、工程内の熱挙動をシフトごとに安定化させるため、電子機器向けの高精度赤外線ヒーター...