ウェーハ加工ツール用温度センサー

ツールを加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう 通常の赤外線ランプは、基本的には電球のようなもので、熱をあらゆる方向に放出します。ウェーハ処理用の装置では、これは大きな問題となります。 加熱を強くすると、そのエネルギーの大部分がウェーハに届かず、代わりに装置の内壁に当たってしまいます。その結...