飛散物を防ぐ：ヒーターが故障したときでもウエハーを清潔に保つ方法 大量生産の半導体製造プロセスにおいて、赤外線ランプが破裂するというのは、単なる「メンテナンス上の問題」というだけでは済まされない。それはまさに悪夢そのものです。 グローブボックスの中で石英管が破裂するとどうなるか想像してみてください...

スマートホーム用ヒーターを実際に効果的に使う方法 私たちは、高性能なヒーターの温かさとスマートホームの利便性の両方を求める人々のために、IP65等級のヒーター部品を製造しています。これらをセントラルハブに接続することで、単にスイッチを切り替えるだけではなく、大量の電力を制御できるのです。 なぜ...

リソグラフィーにおいて、ウェーハ乾燥オーブンの役割は単に水分を除去するだけではありません。それは、その後行われる各種フォトレジストのソフトベイクやハードベイクのための熱的条件を決定するものです。チャック部に2℃の温度差が生じると、線幅に変化が生じますが、この変化は、測定結果には現れず、問題が発生し...