揮発性化学物質を加熱するときの安全対策
正直に言って、半導体の洗浄に使う化学薬品を加熱するのは非常に危険な作業です。火災や爆発しやすい溶剤を扱う際、わずかな火花や露出した加熱要素だけでも、単なる「技術的な問題」では済みません。それは大惨事を引き起こす可能性があります。
そのため、私たちは開放型のランプの使用をやめました。代わりに、赤外線加熱装置を特殊なシールで覆います。これは単純な変更ですが、夜間の睡眠の質に大きな違いをもたらします。
なぜシールが重要なのか
一般的な赤外線ランプは熱を効果的に放出しますが、電気端子や石英管は外部の空気に直接さらされています。化学薬品が存在する環境では、これは問題を引き起こす要因となります。腐食性のある蒸気が配線を侵食したり、ランプの内部に入り込んだりする可能性があります。
私たちは、全体を密閉することでこの問題を解決しています。これは、高温になった電気部品と、作業場内に漂う危険なガスとの間に物理的な壁を作るようなものです。
私たちは、強力な洗浄剤にも耐えられる材料を使ってこれらのケースを製造しています。目的は、完全に密閉されることです。爆発性の雰囲気が内部に入ってこない限り、問題は起きません。簡単ですよね。
熱と安全性のバランス
では、ランプを密閉すると性能が低下するのではないかと思うかもしれません。実際にはそうではありません。依然として、ウェーハを処理するのに必要な迅速な反応速度が得られます。
しかし、注意点もあります。ランプを密閉すると熱が閉じ込められ、内部の圧力が上昇します。これはバランスを取る必要がある問題です。ケースが厚すぎると、赤外線の熱が抜けない。逆に薄すぎると、圧力によってシールが割れてしまう可能性があります。
私たちは、この装置が絶え間ない加熱・冷却サイクルに耐えられるように調整してきました。裸の電球と比べると、効率が少し低下しますが、正直、クリーンルームが爆破されないという点を考えれば、それは安い代償です。
作業を容易にする
また、危険な場所で何時間もメンテナンスを行う必要もありません。そのため、私たちは、交換が簡単なモジュールとしてこの装置を設計しました。ランプが壊れたら、危険な場所で配線をいじる必要はありません。単に新しいモジュールに交換すればよいのです。これにより、停止時間が短縮されます。さらに、交換用のモジュールは常に工場で完璧に密封されているので、安心です。