IR 램프가 웨이퍼를 망치는 것을 막아보세요.
고부하의 반도체 생산 환경에서는, 단 하나의 고장난 램프만으로도 몇 초 만에 수많은 웨이퍼가 파괴될 수 있습니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 석영 코팅이 파손되면, 유리 조각들과 이물질들이 직접 웨이퍼 위로 떨어집니다.
그래서 우리는 세라믹 재질의 커버를 사용합니다. 이는 간단한 해결책이지만, 모든 것을 안정적으로 유지시켜주며, 무엇보다도 깨끗하게 유지해줍니다.
열 문제 해결하기
IR 방사체는 엄청난 열을 발생시킵니다. 밀봉된 부분에서는 열 팽창이 매우 심해집니다. 만약 일반 금속으로 된 지지대를 사용한다면, 문제가 생길 수밖에 없습니다.
우리는 그 대신 고순도 세라믹 커버를 사용합니다. 이 커버는 마치 열을 흡수하는 쿠션과 같은 역할을 합니다. 석영관과 전기 단자 사이에 위치하여 가열 및 냉각 과정에서 발생하는 기계적 스트레스를 흡수합니다. 이를 통해 고출력이 가해질 때 석영관이 깨지는 것을 방지할 수 있습니다.
오염 방지
금속 커버의 문제점은 오염될 가능성이 있다는 것입니다. 시간이 지나면 금속 커버가 부서집니다. 그러면 금속 가루들이 클린룸 안으로 퍼져나가게 되는데, 이는 절대 원하지 않는 상황입니다.
세라믹 커버는 그런 문제가 없습니다. 화학적으로 안정적이기 때문입니다. 만약 석영관이 손상된다 해도, 세라믹 커버가 필라멘트를 보호해줍니다. 그래서 웨이퍼 표면에 이물질이 퍼지는 것을 막을 수 있습니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
물론, 세라믹 커버도 완벽하지는 않습니다. 몇 가지 단점이 있습니다. 세라믹 커버는 일반 금속 커버보다 더 크기 때문에 공간을 더 많이 차지합니다. 따라서 교체하기 전에 반드시 하우징의 여유 공간을 확인해야 합니다.
만약 마운팅 브래킷이 너무 단단하다면, 세라믹 커버에 압력이 가해질 수 있습니다. 세라믹은 구부러지지 않고 깨지기 때문에, 충분한 공간을 주어야 합니다.
전문가의 조언
우리는 약간이라도 오염이 발생하면 문제가 되는 환경에서는 세라믹 커버를 사용할 것을 권장합니다. 전원 연결부와 석영관 사이에 세라믹 커버를 두면, 치명적인 고장의 위험이 크게 줄어듭니다.
단, 반드시 안정적인 전원 공급 장치에 연결해야 합니다. 전압 변동은 밀봉 부분에 악영향을 미치므로, 안정적인 전압이 필요합니다.