왜 우리는 웨이퍼 건조에 적외선을 사용하게 되었을까요? 팹을 운영할 때, 친환경적이고 납이 포함되지 않은 공정을 유지해야 한다는 압력은 단순히 감사 시 필요한 조건을 충족시키는 것에 그치지 않습니다. 실제로 공정 자체를 더 깨끗하게 만드는 것이 중요합니다. 오랫동안...

왜 무연 반도체 건조에 적외선을 사용하는가? MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 위험한 작업입니다. 아주 작고 섬세한 미세 구조들에서 물방울 하나라도 제거해야 하지만, 그 과정에서 웨이퍼가 손상되거나 변형되어서는 안 됩니다. 오랫동안 사람들은 대류식 오븐이나 화...

팹 플로어에서는 건조 온도의 변동이 그다지 사소한 문제가 아닙니다. 이는 제품의 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 이미 엄격한 허용 오차가 존재하는데, 웨이퍼 전체에 걸쳐 온도가 균일하지 않으면 노출 후 치수 오류가 발생할 수 있...

팹에서는 스피닝 드라이어에서 나오는 웨이퍼의 온도가 단 1.2°C만큼이라도 차이가 나면, 그 웨이퍼의 온도가 리소그래피 공정에 필요한 범위를 벗어날 수 있다는 것을 금방 알 수 있습니다. 공정 노드가 점점 작아질수록 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정에...

리소그래피에서 웨이퍼 건조 오븐은 단순히 수분을 제거하는 역할만 하는 것이 아닙니다. 이 장비는 향후 이루어지는 모든 포토레지스트 처리 과정에 있어서 필요한 열 조건을 결정하는 중요한 요소입니다. 척 위의 특정 부위에서 2°C 정도의 온도 차이가 생기면, 선폭에 변화...

왜 우리 적외선 건조기가 비싼 가격 없이도 진짜처럼 느껴지는가 우리는 거의 다운타임 없이 빠르고 믿을 수 있는 열을 필요로 하는 산업용 라인을 위해 적외선 의류 건조용 히터를 만듭니다. 우리의 약속은 간단합니다: OEM에서 기대할 수 있는 수준의 빌드 품질을 공장에서...