서론 저희는 할로겐 가열 램프를 만듭니다. 하지만 이 램프들은 일반 작업장에서 사용되는 그런 램프들과는 다릅니다. 이 램프들은 웨이퍼 처리 라인에 특별히 설계된 것으로, 고성능 반도체 공장에서 필요로 하는 강력하고 안정적인 열을 제공할 수 있도록 만들어졌습니다. 또한...

라인에서는 포토레지스트를 건조하는 과정에서 선의 굵기를 제어할 수 있습니다. 히터의 온도가 0.5°C만이라도 변동해도, 웨이퍼의 형상에 변화가 생기고, 불량품이 발생할 수 있습니다. Leybold의 진공 히터 부품들은 진공 상태에서도 시간이 지나도 일관된 온도를 유지...