더 이상 램프 고장에 대해 걱정하지 마세요. 대신 그에 대비하는 계획을 세우세요. 진공 챔버에서 고부하의 생산 작업을 수행하는 경우라면, 그 끔찍한 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 램프가 파손되면, 단순히 가동 중단만의 문제가 아니라, 모든 것이 엉망이 됩니다. 석영...

라인에서는 포토레지스트를 건조하는 과정에서 선의 굵기를 제어할 수 있습니다. 히터의 온도가 0.5°C만이라도 변동해도, 웨이퍼의 형상에 변화가 생기고, 불량품이 발생할 수 있습니다. Leybold의 진공 히터 부품들은 진공 상태에서도 시간이 지나도 일관된 온도를 유지...