웨이퍼 공정용 온도 센서

도구를 가열하는 것을 그만두고 웨이퍼를 가열하기 시작하십시오. 일반적인 적외선 램프는 본질적으로 전구와 같아서 열을 모든 방향으로 방출합니다. 웨이퍼 처리 장비에서는 이러한 상황이 큰 문제가 됩니다. 열을 높이면, 그 에너지의 상당 부분이 웨이퍼에 도달하지 못하고 대...