TSV(실리콘 관통 전극) 히터

On the line, 온도 드리프트는 이론이 아니라 불량이다. TSV 작업에서 웨이퍼 전체에 0.5°C 편차가 발생하면 이는 비아 식각 깊이 편차, 사진감광제 프로파일 불량, 적층 불량으로 나타난다. 열 안정성을 단순한 기대가 아니라 공정 요구 사항으로 취급하는 히...