기계 전체를 가열하는 대신, 특정 부품만을 가열하세요. 대부분의 적외선 히터는 열을 사방으로 방출합니다. 360도로 방사되는 열은 방 전체를 따뜻하게 하는 데는 적합하지만, 좁은 반도체 칩 안에서는 문제가 됩니다. 열이 사방으로 퍼지면, 실제로 가열해야 할 부품 대신...

팹 플로어에서는 건조 온도의 변동이 그다지 사소한 문제가 아닙니다. 이는 제품의 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 이미 엄격한 허용 오차가 존재하는데, 웨이퍼 전체에 걸쳐 온도가 균일하지 않으면 노출 후 치수 오류가 발생할 수 있...