레이볼드 진공 히터 부품

라인에서는 포토레지스트를 건조하는 과정에서 선의 굵기를 제어할 수 있습니다. 히터의 온도가 0.5°C만이라도 변동해도, 웨이퍼의 형상에 변화가 생기고, 불량품이 발생할 수 있습니다. Leybold의 진공 히터 부품들은 진공 상태에서도 시간이 지나도 일관된 온도를 유지...