반도체 스퍼터링 히터

생산 현장에서는 목표 온도가 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 하는 기준입니다. 예열 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 증착 속도에 영향을 미칠 수 있으며, 스퍼터링 챔버의 시동 지연은 진공 상태가 안정될 때까지 기다리는 동안 생산 시간을 낭비하게...