전자기기를 위한 정밀 적외선 히터

300mm 라인에서 포토레지스트 베이크 중 반도씨(half-degree Celsius) 온도 변동만으로도 크리티컬 디멘션 제어가 규격을 벗어날 수 있다. SPC 차트에서 편차가 나타나는 것을 관찰하고, 불량품이 빠르게 쌓인다. 우리는 공정을 교대마다 안정적으로 유지하...