웨이퍼 수분 제거 램프

공정 현장에서 포토레지스트 또는 웨이퍼 인터페이스에 갇힌 수분은 열 제어에 문제를 일으킨다. 수분이 열을 분산시켜 소프트 베이크와 하드 베이크 프로파일이 목표에서 벗어난다. 결과적으로 풋팅, 스커밍, 라인 폭 편차가 발생하여 수율 저하로 이어진다. 이러한 변수를 제거...