웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프
웨이퍼 건조나 포토레지스트 소성 과정에서 발생하는 온도 변동은 단순한 비효율성에 그치지 않고, 결국 제품의 품질을 저하시키는 원인이 됩니다. 웨이퍼 전체에 3°C 정도의 온도 차이가 생기면, 웨이퍼의 치수가 정확하지 않아집니다. 또한, 온도 상승 속도가 너무 느리면...
도매용 웨이퍼 건조 램프
팹에서는 스피닝 드라이어에서 나오는 웨이퍼의 온도가 단 1.2°C만큼이라도 차이가 나면, 그 웨이퍼의 온도가 리소그래피 공정에 필요한 범위를 벗어날 수 있다는 것을 금방 알 수 있습니다. 공정 노드가 점점 작아질수록 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정에...
와퍼 건조 오븐 가열 요소
리소그래피에서 웨이퍼 건조 오븐은 단순히 수분을 제거하는 역할만 하는 것이 아닙니다. 이 장비는 향후 이루어지는 모든 포토레지스트 처리 과정에 있어서 필요한 열 조건을 결정하는 중요한 요소입니다. 척 위의 특정 부위에서 2°C 정도의 온도 차이가 생기면, 선폭에 변화...