노출 후 건조용 히터(PEB 히터)

리소그래피 공정에서는 PEB의 온도 변동이 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 웨이퍼 전체에 걸쳐 선폭이 변하게 되며, 그 결과 수율이 저하됩니다. 이러한 문제는 어떤 감사 절차로도 정확히 파악하기 어렵습니다. 반도체 공장에서는 열적 안정성이 단순한 우선순위가 아니...