저렴한 웨이퍼 건조용 램프 전구

팹 플로어에서는 건조 온도의 변동이 그다지 사소한 문제가 아닙니다. 이는 제품의 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 이미 엄격한 허용 오차가 존재하는데, 웨이퍼 전체에 걸쳐 온도가 균일하지 않으면 노출 후 치수 오류가 발생할 수 있...