PECVD 가열용 적외선 방출기

생산 현장에서 PECVD 챔버의 온도는 단순한 배경 설정이 아닙니다. 이 온도야말로 공정의 성공 여부를 결정하는 핵심 요소입니다. 서셉터의 온도가 1°C만 변해도 필름에 스트레스가 생기고 에칭 속도도 불균일해집니다. 만약 적외선 발진기가 제 역할을 하지 못한다면, 더...