도구를 가열하는 것을 그만두고 웨이퍼를 가열하기 시작하십시오.
일반적인 적외선 램프는 본질적으로 전구와 같아서 열을 모든 방향으로 방출합니다. 웨이퍼 처리 장비에서는 이러한 상황이 큰 문제가 됩니다.
열을 높이면, 그 에너지의 상당 부분이 웨이퍼에 도달하지 못하고 대신 기계의 내부 벽에 부딪힙니다. 그 결과, 내부 부품들이 손상될 수 있으며, 정기 점검 중에 작업자가 화상을 입을 수도 있습니다.
열을 정확한 위치에 전달하기
이 문제를 해결하기 위해 우리는 방향성 적외선 기술을 사용합니다. 단순히 석영관만 넣고 그냥 기다리는 대신, 특수한 반사체와 코팅을 사용합니다.
마치 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 적외선 에너지를 웨이퍼 표면에 직접 전달하여 기계의 외부 벽으로 가는 것을 막습니다.
빔이 좁아지면, 하우징에 에너지가 낭비되는 것을 줄일 수 있습니다. 열은 정확히 필요한 곳에만 전달됩니다. 또한, 기계의 외부 표면도 충분히 차가워져서 작업자가 안전하게 작업할 수 있습니다.
어려운 점
물론, 이것은 “설정만 해두면 끝나는” 문제가 아닙니다. 광학적 요소와 에너지의 균형을 맞추는 것이 중요합니다.
정확한 빔을 얻으려면 반사체의 형태가 정확해야 합니다. 만약 램프가 몇 밀리미터만이라도 움직인다면, 열 분포가 변하게 됩니다. 그러면 웨이퍼에 따뜻한 부분과 차가운 부분이 생기고, 그로 인해 생산 효율이 떨어집니다.
또한, 에너지를 집중시키면 열이 급격히 상승합니다. 고출력 램프를 작은 면적에 사용하면, 온도가 설정된 값보다 빠르게 상승할 수 있습니다. 따라서 더 빠른 반응 속도를 위해 PID 컨트롤러를 조정해야 합니다.
실제 작업장에서의 팁
이러한 장비를 설치할 때는 반사체의 정렬 상태를 꼭 확인해 주세요.
약간만 비뚤어진 거울은 공정을 망칠 뿐만 아니라, 열을 다시 기계의 벽으로 보내버립니다. 이는 우리가 피하고자 하는 상황입니다.
또한, 거울을 깨끗하게 유지해 주세요. 조금의 먼지나 얇은 층이 생기면 빔이 흩어집니다. 그러면 정밀한 장비가 마치 거대한 히터처럼 작동하게 됩니다.