검사 과정에서는 안정성이 분 단위가 아닌 도 단위로 측정됩니다. 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 약간의 온도 변화만으로도 치명적인 결과가 초래될 수 있으며, 불순물의 존재도 전체 결과에 큰 영향을 미칩니다. 우리는 이러한 변수들을 제거하기 위해 이러한 검사용 히터를 개발했습니다.
내부 구조에 대하여
우리는 단파 적외선 소자와 석영으로 강화된 열 설계를 사용했습니다. 가열 속도가 빠르며, 웨이퍼 전체의 온도 균일성은 ±0.1°C 수준입니다. 소프트 베이크든 하드 베이크든 설정된 온도가 유지되므로, 노출 및 현상 과정에서 오차가 발생하지 않습니다.
이 장비는 클린룸 등급 1–100에 맞게 설계되었으며, 밀폐된 인터페이스와 불순물 발생을 최소화하는 소재를 사용하여 일관된 성능을 보장합니다. 24/7으로 작동해도 온도 변화는 1,000시간당 0.05°C 미만으로 유지됩니다.
왜 검사 과정에서 효과적인가?
검사 과정에서 이 히터는 척 부분의 온도를 안정적으로 유지해 줍니다. 그 결과, 노출 조건이 일관되어 반복 작업이 줄어들고, 불량률도 낮아집니다. 또한 빠른 반응 속도와 낮은 에너지 소비로 인해 유지보수 비용도 줄어듭니다. 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다.
준비해야 할 사항
호환성은 장비의 기계적 구조, 전력 공급 방식, 제어 인터페이스에 따라 결정됩니다. 커넥터, 전압, 장착 방식의 맞춤화에는 2–3주가 소요됩니다.
최상의 성능을 얻으려면, 검사 장비의 배기 및 냉각 시스템이 히터의 열 부하에 맞게 구성되어 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 설정된 온도가 변동될 수 있습니다.