Hentikan pembaziran tenaga IR anda
Mari kita jujur: pembaziran tenaga sebenarnya merupakan kelemahan dalam reka bentuk peralatan tersebut. Dalam proses pemprosesan wafer, perkara ini sering berlaku. Kebanyakan orang menggunakan reflektor yang diperbuat daripada aluminium biasa. Namun, masalahnya ialah tenaga IR tersebut banyak yang terbuang atau diserap oleh badan peralatan tersebut. Ini merupakan pembaziran yang tidak perlu.
Itulah sebabnya kami menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Emas lebih efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan cara ini, tenaga tersebut akan sampai ke wafer dengan tepat, tanpa menyebabkan bahagian mesin menjadi panas secara tidak perlu.
Mengapa emas lebih baik daripada aluminium yang telah dipolish
Kebanyakan kedai menggunakan aluminium yang telah dipolish kerana ia merupakan pilihan yang biasa digunakan. Namun, ia kurang efektif apabila panjang gelombang cahaya semakin panjang.
Emas pula berbeza. Ia mampu menangkap sebahagian besar radiasi IR yang berasal daripada lampu tersebut. Dengan melapiskan emas pada reflektor, kita dapat mengumpulkan tenaga tersebut menjadi sinar yang fokus. Dengan cara ini, suhu di kawasan sasaran akan meningkat dengan ketara, tanpa perlu meningkatkan kuasa lampu dan memberi beban yang berlebihan pada sistem tersebut.
Mengenai masalah haba
Masalahnya ialah apabila tenaga dikumpulkan secara intensif, suhu lampu akan meningkat dengan cepat. Anda perlu pastikan sistem penyejukan dapat menghadapi haba yang tidak dapat dilepaskan melalui lubang pada reflektor. Jika aliran udara tidak mencukupi, filamen lampu akan cepat rosak. Untuk memastikan kestabilan suhu di seluruh permukaan wafer, kami biasanya menggunakan lampu kuarsa berkuasa tinggi bersama-sama dengan reflektor tersebut. Ini akan membantu mengelakkan suhu dari menjadi terlalu tinggi.
Cara menggantikannya
Berita baiknya ialah penggantian reflektor ini sangat mudah. Ia hanya memerlukan penggantian komponen reflektor sahaja. Tidak perlu mengubah kabel atau memecahkan komponen bekalan kuasa.
Namun, yang penting ialah perlu menetapkan semula nilai PID controller. Memandangkan lapisan emas sangat efektif dalam mentransfer haba, nilai tetapan lama mungkin tidak lagi sesuai. Anda perlu menurunkan kuasa lampu sedikit agar substrat tidak rosak.