Di bilik pengeluaran wafer, perubahan suhu semasa proses pengeringan wafer atau pemanasan bahan fotoresist bukan sahaja merosakkan kecekapan proses tersebut, tetapi juga boleh menyebabkan kerosakan pada wafer itu sendiri. Peningkatan suhu sebanyak 3°C pada permukaan wafer boleh mengganggu dimensi penting wafer tersebut. Proses pemanasan yang lambat pula boleh menyebabkan cecair terperangkap dalam wafer, lalu menimbulkan kecacatan. Lampu inframerah SK15 direka untuk mengelakkan masalah ini dengan memberikan haba yang tepat, bukan secara rawak.
Apa yang penting dalam proses ini ialah kawalan suhu yang tepat. SK15 menggunakan elemen inframerah berfrekuensi tinggi yang bertindak balas dalam masa beberapa saat sahaja, supaya suhu dapat dikawal dengan baik. Pada wafer berukuran 300 mm, SK15 dapat mengekalkan suhu yang seragam sebanyak ±0.1°C. Spektrum cahaya yang dihasilkan oleh SK15 sesuai dengan penyerapan cahaya oleh bahan fotoresist, sehingga mengurangkan variasi suhu di bahagian tepi dan tengah wafer. Ia juga sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, kerana reka bentuknya yang bebas daripada zarah-zarah kecil. Tidak ada pelepasan gas, debu filamen, atau serpihan akibat kitaran suhu yang berulang-ulang. Kita menekankan kebolehulangan proses ini, kerana proses litografi memerlukan ketepatan suhu yang tinggi; nilai suhu harus tetap dalam julat yang ditetapkan, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Sebabnya mudah: prosesnya menjadi lebih tepat. Dalam proses pengeringan wafer, SK15 dapat menghilangkan kelembapan dengan cepat tanpa menyebabkan suhu melonjak, jadi air tidak akan masuk ke tahap seterusnya dalam proses pengeluaran. Dalam proses pemprosesan bahan fotoresist pula, SK15 dapat mencipta profil suhu yang tepat untuk proses pemanasan yang efektif, sehingga mengurangkan baki cecair dan meningkatkan keteguhan pelekat antara bahan fotoresist dengan permukaan wafer. Hasilnya ialah lebih sedikit wafer yang gagal diproses, kawalan dimensi wafer yang lebih stabil, serta kelajuan pengeluaran yang boleh diharapkan. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana lampu inframerah memanaskan wafer secara langsung, bukan ruang di sekelilingnya, jadi tenaga yang dibazirkan untuk memanaskan udara dapat dikurangkan.
Pemasangan SK15 sangat mudah, tetapi masih perlu diberi perhatian yang sewajarnya. SK15 boleh dipasang pada platform pembakar wafer biasa yang mempunyai antaramuka pemasangan dan elektrik yang sesuai. Pastikan pengawal suhu pembakar wafer anda menyokong protokol pemanasan yang digunakan oleh SK15. Pastikan juga adanya perlindungan termal yang mencukupi agar komponen-komponen di sekelilingnya tidak terkesan dengan haba yang dihasilkan oleh SK15. Pastikan posisi lampu betul-betul tepat semasa pemasangan; sedikit penyimpangan saja boleh menyebabkan ketidakseragaman suhu. Setelah lampu dipasang dengan betul, proses pengeluaran akan dapat dikawal dengan baik.