Stop met het verspillen van je IR-energie
Laten we eerlijk zijn: energieverspilling is in feite een ontwerpfout. Tijdens het bewerken van wafers zien we dit steeds weer gebeuren. De meeste mensen gebruiken standaard aluminiumreflectoren, maar het probleem is dat veel van die IR-energie gewoon ontsnapt of wordt opgenomen door de behuizing. Dat is zonde.
Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Goud is namelijk veel beter in staat om infraroodlicht terug te kaatsen. In plaats van dat het frame van je apparaat onnodig heet wordt, komt de energie terecht waar ze moet zijn: op de wafer.
Waarom goud beter is dan gepolijst aluminium
De meeste bedrijven gebruiken gepolijst aluminium omdat dat de standaard is. Het werkt, maar het heeft moeite bij langere golflengten.
Goud is anders. Het vangt een veel hoger percentage van het langegolf-Infraroodlicht op dat van de lamp afkomstig is. Door goud op de reflector aan te brengen, kunnen we de energie in een strakke, gefocuste bundel concentreren. Hierdoor krijg je meer warmte op het doelwit, zonder dat je de vermogen hoeft te verhogen en je systeem onder druk komt te staan.
Over de hitte
Het nadeel is dat wanneer je de energie zo sterk concentreert, de temperatuur van de lamp sterk zal stijgen. Je moet er zeker van zijn dat je koelsysteem de hitte aankunt die niet via de opening kan ontsnappen. Als de luchtcirculatie niet goed is, zal de lamp eerder kapotgaan dan je zou willen. Om de temperatuur over de hele wafer stabiel te houden, gebruiken we meestal deze reflectoren in combinatie met kwartslampen met hoge vermogens. Dit voorkomt dat de temperatuur te hoog wordt.
Hoe het in praktijk werkt
Goed nieuws: het vervangen van deze reflectoren is vrij simpel. Het gaat meestal om een simpele vervanging van de reflector. Je hoeft je niet druk te maken over de kabels of de stroomvoorziening.
Maar – en dit is belangrijk – recalibreer je PID-regelaars. Omdat de goudlaag veel efficiënter is in het overdragen van warmte, zullen je oude instellingen waarschijnlijk te hoog uitvallen. Je moet de vermogensinstellingen wat verlagen, zodat je het substraat niet per ongeluk beschadigt.