Op de productielijn zijn thermische schommelingen tijdens het drogen van de wafers of het verhitten van de fotoresist niet alleen inefficiënt – ze kunnen zelfs leiden tot defecten. Een temperatuurverschil van 3°C op het oppervlak van de wafer kan de belangrijke afmetingen verstoren. Een trage opwarmingsgang kan zorgen voor het vastzitten van oplosmiddelen, wat weer tot defecten kan leiden. De SK15-infraroodlamp is ontworpen om deze problemen te voorkomen door middel van een nauwkeurig gereguleerde warmteafgifte.
Wat belangrijk is in dit proces, is controle. De SK15 maakt gebruik van kortegolflengte-infraroodelementen die binnen enkele seconden reageren. Hierdoor kan de temperatuur nauwkeurig worden geregeld. Op een 300 mm grote wafer wordt een temperatuurstabiliteit van ±0,1°C behaald. Het spectrum van de lamp is afgestemd op de absorptie van de fotoresist, waardoor variaties in de temperatuur worden verminderd. De lamp is compatibel met schoonruimtes van klasse 1–100, dankzij zijn ontwerp zonder veel deeltjes. Er is geen uitstoot van gassen, geen stof van de filamenten en geen restanten van thermische cycli. We benadrukken de herhalbaarheid, want bij lithografie mag er geen sprake zijn van variaties: de temperatuur blijft steeds binnen de vereiste tolerantie, cyclus na cyclus.
Het werkt eenvoudig: het proces wordt gedeterministisch. Bij het drogen van de wafers verwijdert de SK15 snel het vocht, zonder dat er sprake is van oververhitting. Hierdoor komt er geen water over in de volgende stap. Tijdens het verhitten van de fotoresist wordt de juiste temperatuur bereikt, waardoor er minder oplosmiddelen overblijven en de hechting en de ruwheid van de randen verbeteren. Het resultaat is minder defecte producten, betere temperatuurregulatie en een consistente productie. Ook wordt er minder energie verbruikt: de infraroodlamp verwarmt de wafer rechtstreeks, in plaats van de kamer. Hierdoor wordt er geen energie verspild aan het verwarmen van lucht.
De installatie is eenvoudig, maar je moet wel goed opletten. De SK15 past op standaard platforms voor waferovens, met duidelijke montage- en elektrische interfaces. Zorg ervoor dat de controller van je oven de protocollen van de lamp ondersteunt. Plan ook voor voldoende isolatie, zodat de aangrenzende componenten niet worden beïnvloed door de hitte. Zorg ervoor dat de lamp goed is gericht; zelfs een kleine afwijking kan leiden tot ongelijkmatigheden. Stel de lamp één keer in, bepaal de vereiste parameters en het proces blijft onder controle.