Waarom we overstappen op infraroodverwarming voor het drogen van leidvrije semiconductoren
Bij het drogen van MEMS-sensorwafern loop je een groot risico. Je moet elke druppel water uit deze kleine, kwetsbare microstructuren halen, zonder ze per ongeluk te beschadigen of te vervormen.
Lang hebben mensen gebruikgemaakt van conventionele ovens of chemische stoffen om dit te doen. Maar de industrie beweegt zich nu richting ‘leidvrije en milieuvriendelijke’ standaarden. Die oude methoden werken niet meer. Hier komt de korte golflengte van infraroodverwarming om de hoek kijken.
Hoe het werkt
Stel je eens voor dat je een warmteoven gebruikt: je moet eerst de lucht opwarmen, daarna de ruimte zelf en pas daarna het water. Dat is langzaam en energieverspillend.
Infraroodverwarming werkt anders. De straling bereikt rechtstreeks de watermoleculen op het oppervlak van de wafer. Hierdoor stijgt de temperatuur onmiddellijk. Omdat de verwarming zo gericht is, hoeven we geen oplosmiddelen of oude, leidhoudende stabilisatoren meer te gebruiken.
De kosten
Als je ooit een conventionele oven hebt gebruikt, weet je dat ze veel energie verbruiken. Ze moeten 24/7 draaien om de temperatuur op peil te houden.
Met infraroodlampen wordt alleen energie verbruikt wanneer de schuifdeur openstaat of wanneer de lamp pulserend werkt. Het energieverbruik per wafer is daardoor veel lager. Je energierekening zal je daar dankbaar voor zijn.
Een belangrijk punt: omdat de hitte zo snel en intens is, moet je goed opletten met de waferclips. Als het substraat een lage glasovergangstemperatuur heeft, mag je het niet zomaar verhitten. Je moet de pulsfrequentie aanpassen, zodat de wafer niet wordt vervormd.
Integratie in de schone ruimte
Ruimte is in een schone ruimte altijd een beperkt goed. Infraroodsystemen zijn veel kleiner dan die grote luchtkanalen. Bovendien zijn er geen blazers nodig. Geen blazers betekent dat er geen stof of andere deeltjes in de lucht terechtkomen, waardoor de omgeving veiliger wordt. Het is een gemakkelijke vervanging voor die broze oude apparaten.
We hebben erop gelet dat deze verwarmers leidvrij zijn, van de lasnaden tot de kwartsomhullingen. Hierdoor is het gemakkelijk om aan de RoHS- en milieunormen te voldoen.
Geen gevaarlijke gassen, geen energieverlies, en een schoner proces. Het is gewoon een eenvoudigere en slimme manier om tot nul emissies te komen.