Почему мы переходим на использование инфракрасного обогрева для сушки полупроводников без содержания свинца
При сушке пластин с МЭМ-датчиками возникают серьезные проблемы. Необходимо удалить каждую каплю воды с этих крошечных и чувствительных микроструктур, не повредив их при этом.
Долгое время для этой цели использовались конвекционные печи или химические вещества. Но сейчас отрасль движется в направлении стандартов «без свинца и экологичности», и старые методы уже не подходят. Вот здесь-то и приходит на помощь коротковолновый инфракрасный обогрев.
Как это работает
Представьте себе печь с горячим воздухом: сначала необходимо нагреть воздух, затем саму камеру, а уже потом — воду на поверхности пластины. Этот процесс медленный и требует больших затрат энергии.
Инфракрасный обогрев работает иначе: излучение достигает молекул воды непосредственно на поверхности пластины. Температура повышается мгновенно. Благодаря такому точечному воздействию можно обойтись без использования растворителей и старых стабилизаторов на основе свинца.
Затраты на энергию
Если вы когда-либо использовали обычную конвекционную печь, то знаете, что она потребляет много энергии. Она работает круглосуточно, чтобы поддерживать постоянную температуру.
С инфракрасными лампами энергия используется только тогда, когда затвор открыт или лампа работает в импульсном режиме. Потребление энергии на единицу продукции значительно снижается. Это положительно скажется на счетах за электроэнергию.
Но есть один нюанс: поскольку тепло передается очень быстро и сильно, необходимо соблюдать определенные правила при использовании таких устройств. Если у подложки низкая температура перехода в состояние стекла, нельзя просто обильно нагревать ее. Необходимо настроить частоту импульсов, чтобы избежать деформации пластин.
Установка в чистой комнате
Пространство всегда является ограничивающим фактором в чистой комнате. Инфракрасные системы гораздо компактнее, чем огромные конвекционные устройства. К тому же в них нет вентиляторов. Отсутствие вентиляторов значит отсутствие пыли и других частиц в воздухе, что делает окружающую среду гораздо безопаснее. Это простой способ заменить старые, громоздкие устройства.
Мы позаботились о том, чтобы все элементы этих обогревателей были без содержания свинца — от мест соединения до кварцевых корпусов. Это облегчает соблюдение стандартов RoHS и других экологических норм.
Никаких вредных выбросов, никакой траты энергии — процесс сушки становится гораздо более эффективным. Это простой и разумный способ достижения нулевых выбросов.