
Neden kurşunsuz yarı iletkenlerin kurutulmasında kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcıları kullanıyoruz?
MEMS sensörleri kuruturken oldukça tehlikeli bir işlemler serisiyle uğraşıyorsunuz. Bu minik ve hassas mikro yapıların üzerindeki her bir su damlasını almak zorundasınız; ancak bunları yanlışlıkla parçalamamalı veya deforme etmemelisiniz.
Uzun süre boyunca insanlar bu işlem için konveksiyon fırınları veya kimyasallardan yararlandılar. Ancak endüstri artık “kurşunsuz ve çevre dostu” standartlara yöneliyor; bu eski yöntemler artık işe yaramıyor. İşte burada kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcılar devreye giriyor.
Nasıl çalışır?
Sıcak hava fırınlarını düşünün: Önce havayı, ardından fırının içini, sonra da taşıyıcıyı ısıtmak gerekiyor. Bu süreç yavaş ve enerji israfıdır.
Kızılötesi ısıtıcılar ise farklı çalışır. Hava ile ilgilenmez; radyasyon doğrudan wafer yüzeyindeki su moleküllerine etki eder. Böylece sıcaklık anında artar. Bu sayede çözücülü kurutuculara ve eski kurşun bazlı stabilizatörlere gerek kalmaz.
Enerji tüketimi
Eğer daha önce standart bir konveksiyon fırını kullandıysanız, bunların ne kadar fazla enerji tükettiğini biliyorsunuzdur. Sıcaklığı sabit tutmak için 24/7 çalışırlar.
Kızılötesi lambalarla ise sadece perde açık olduğunda veya lamba darbe verdiğinde enerji tüketilir. Her wafer için tüketilen enerji miktarı oldukça azdır. Elektrik faturanız da buna teşekkür edecektir.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Isı çok hızlı ve şiddetli bir şekilde etki eder. Bu yüzden waferlerin zarar görmemesi için dikkatli olmalısınız. Eğer substratın cam geçiş sıcaklığı düşükse, onu doğrudan ısıtmamalısınız. Dalga frekansını ayarlayarak waferlerin deforme olmasını engelleyebilirsiniz.
Temiz oda ortamına uyumu
Temiz odalarda alan her zaman önemlidir. Kızılötesi sistemler, devasa zorlu hava tünellerinden çok daha küçüktür. Ayrıca üfleme mekanizmaları da yoktur. Üfleme mekanizmalarının olmaması, toz veya partiküllerin havaya karışmasını engeller ve böylece ortam daha güvenli hale gelir. Bu sistemler, eski ve hacimli cihazların yerine kullanılmak için oldukça uygundur.
Bu ısıtıcıların lehim noktalarından tutun da kuvars kılıflarına kadar her kısmının kurşunsuz olduğundan eminiz. Bu sayede RoHS ve çevre kurallarına uymak çok daha kolay hale geliyor.
Ne zararlı gazlar, ne de enerji israfı… Hem de çok daha temiz bir işlem süreci. Bu, sıfır emisyonlara ulaşmanın daha basit ve akıllıca bir yoludur.