Trong quy trình sản xuất, sự biến đổi nhiệt độ trong quá trình làm khô wafer hoặc xử lý hóa chất dùng để phủ lớp bảo vệ lên wafer không chỉ gây ra sự kém hiệu quả trong quy trình mà còn là nguyên nhân gây ra nhiều sai sót. Sự chênh lệch nhiệt độ 3°C trên bề mặt wafer có thể ảnh hưởng đến các thông số kỹ thuật quan trọng của wafer. Việc tăng nhiệt độ quá chậm có thể khiến dung môi tồn đọng lại, từ đó gây ra các khuyết tật trên wafer. Đèn hồng ngoại SK15 được thiết kế để loại bỏ những vấn đề này bằng cách cung cấp nhiệt độ một cách chính xác, thông qua việc tính toán kỹ lưỡng, chứ không phải dự đoán một cách tùy tiện.
Điều quan trọng nhất trong quy trình này chính là khả năng kiểm soát nhiệt độ. Đèn SK15 sử dụng các nguyên lý hồng ngoại tần số cao, giúp phản ứng nhanh trong thời gian dưới một giây, nhờ đó bạn có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Trên wafer có kích thước 300 mm, độ ổn định nhiệt độ của đèn này là ±0,1°C. Bước sóng ánh sáng hồng ngoại phù hợp với khả năng hấp thụ của hóa chất dùng để phủ lớp bảo vệ lên wafer, nhờ đó giúp giảm sự biến đổi nhiệt độ ở các vị trí khác nhau trên wafer. Đèn này cũng tương thích với các môi trường sản xuất có độ sạch từ cấp độ 1 đến 100, nhờ vào thiết kế ít tạo ra hạt bụi. Không có hiện tượng thoát khí, không có bụi từ sợi dây tóc, và cũng không có chất thải từ quá trình gia nhiệt. Chúng tôi nhấn mạnh đến tính lặp lại của quy trình, vì trong công nghệ in ấn, việc duy trì nhiệt độ ổn định là điều rất quan trọng.
Lý do tại sao đèn SK15 hiệu quả là vì quy trình được kiểm soát một cách chính xác. Trong quá trình làm khô wafer, đèn SK15 giúp loại bỏ hơi ẩm một cách nhanh chóng, mà không gây ra sự biến đổi nhiệt độ quá mức, nhờ đó tránh việc nước còn sót lại trong wafer. Trong quá trình xử lý hóa chất dùng để phủ lớp bảo vệ lên wafer, đèn SK15 cung cấp nhiệt độ chính xác, giúp giảm lượng dung môi còn sót lại và cải thiện độ bám của lớp hóa chất lên wafer. Kết quả là số lượng wafer bị hư hỏng giảm xuống, độ ổn định của các thông số kỹ thuật được duy trì tốt, và hiệu suất sản xuất được đảm bảo. Ngoài ra, việc sử dụng đèn hồng ngoại còn giúp tiết kiệm năng lượng, vì ánh sáng hồng ngoại chiếu trực tiếp lên wafer, chứ không phải chiếu vào toàn bộ buồng xử lý, nhờ đó tránh lãng phí năng lượng.
Việc lắp đặt đèn SK15 khá đơn giản, nhưng bạn vẫn cần chú ý một số điểm. Đèn SK15 có thể được lắp đặt vào các buồng xử lý wafer tiêu chuẩn, với các giao diện kết nối điện được thiết kế sẵn. Bạn cần chắc chắn rằng bộ điều khiển buồng xử lý hỗ trợ các chức năng của đèn. Hãy đảm bảo rằng có sự bảo vệ và cách ly nhiệt đúng cách, để các linh kiện xung quanh không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ cao. Hãy điều chỉnh vị trí của đèn một cách cẩn thận – ngay cả sự lệch nhỏ cũng có thể gây ra sự biến đổi nhiệt độ không mong muốn. Chỉ cần thiết lập đèn một lần, sau đó quy trình sẽ được kiểm soát một cách chính xác.