批发晶圆干燥灯

在芯片制造厂里，人们很快就会明白：即使晶圆从干燥机中出来时温度差异仅为1.2℃，也足以使晶圆的温度超出光刻工艺所允许的范围。随着芯片制程的不断缩小，光阻材料的软烘烤和硬烘烤过程中的温度控制要求也变得越来越严格——这其实是很自然的。因此，干燥灯必须能够快速且稳定地提供恒定的热量，同时不会产生任何颗粒...