晶圆加工设备用温度传感器

停止给工具加热，而是将热量直接传递到晶圆上 普通的红外灯其实就跟普通灯泡没什么两样——它们会将热量向各个方向散发。对于晶圆加工设备来说，这显然是个大问题。 当您提高加热功率时，大部分能量并不会作用于晶圆上，而是直接撞击到设备的内部结构上。这样一来，设备的内部部件就可能会因为过热而变形，更糟糕的是，...