用于光刻机的石英玻璃防护罩

别再浪费能量了：处理光刻灯的更佳方法 在半导体制造厂中，浪费电能其实就相当于浪费钱。当使用高功率灯光来处理晶圆时，大量的红外能量并不会真正照射到目标上，而是被反射回去或散射到空气中。为了解决这个问题，我们使用了镀金石英护罩。这种护罩可以将每一瓦特的能量准确引导到需要的地方——也就是直接照射到晶圆上...