Comment éviter que les lampes de séchage des wafer ne explosent
Lorsque vous séchez des wafer, vous avez besoin d’un profil thermique parfait. C’est tout simplement ainsi. Mais voici le problème : si une lampe présente une fuite électrique ou si son isolation se détériore, ce n’est pas seulement une lampe qui est endommagée. Vous perdrez également toute une série de wafer, ainsi que la carte de contrôle. Ce qui représente une perte financière importante.
Pour éviter cela, nous nous concentrons sur deux éléments importants : la résistance diélectrique et la résistance isolante.
Le “test de stress”
Nous ne nous fions pas aux suppositions. Nous soumettons chaque lampe à un test de résistance à haute tension, à 100 %. En d’autres termes, nous appliquons une tension très élevée entre les parties actives de la lampe et son boîtier connecté au sol. Pourquoi ? Parce que s’il y a une petite fissure dans le quartz ou un point faible dans l’isolation, le courant peut passer à travers. Nous appelons cela une défaillance. Nous préférons que cela se produise dans notre usine, plutôt que que votre machine fasse un court-circuit au milieu d’une opération de production.
Gérer les fuites électriques
Une lampe peut survivre à une forte tension, mais elle peut encore présenter des fuites électriques. C’est subtil, mais c’est dangereux. Nous mesurons la résistance isolante pour nous assurer que le courant reste bien où il doit être. Dans ces stations de séchage, tout est serré ensemble. Si la résistance diminue ne serait-ce qu’un peu, des courants parasites peuvent apparaître, ce qui perturbe les composants électroniques sensibles. Nous concevons nos isolants de manière à ce qu’ils maintiennent des valeurs élevées en mégaohm, même lorsqu’il fait extrêmement chaud.
La lutte contre la chaleur
Voici le véritable défi : les lampes à haute puissance génèrent une quantité incroyable de chaleur. C’est une lutte constante. À mesure que la température augmente, certains matériaux isolants commencent à perdre leurs propriétés isolantes. Plus vous faites fonctionner la lampe à haute température pour obtenir un séchage optimal, plus il devient difficile pour l’isolation de rester stable. Si vous poussez la puissance de la lampe à son maximum, votre système de refroidissement doit être parfait. Sinon, l’isolation se détériore avec le temps. Finalement, on observe des défauts de connexion. Nous testons nos lampes jusqu’à leurs limites extrêmes. Ainsi, vous avez une marge de sécurité et pouvez dormir en paix.