ウェーハ加熱装置が実験室を破壊するのを防ぐ方法
正直に言えば、化学的な清掃を行う場所でウェーハを加熱するのは非常に危険な作業です。可燃性や爆発性のある物質がある環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険要素となります。わずかな火花や端子の過熱だけで、火災が発生する可能性があります。これは多くのエンジニアを夜も眠れない状態にさせる恐ろしい状況です。
私たちは、そうした問題を解決するために、オープン型のランプを使わないようにしています。代わりに、すべてを密閉された専用のケースに収めます。
秘密は「隔離」にあります
私たちは、単にランプに簡単なコーティングを施すだけではありません。加熱素子を高品質な石英やセラミック製のケースに入れ、さらにそのケースを厳しい化学薬品に耐えられるような外殻で覆います。これにより、物理的な壁ができ、店舗内に漂う揮発性有機化合物が加熱装置の部品に触れることはありません。シンプルですが、これが安心して眠れる唯一の方法です。
熱のバランスを取る
難しいのは、外殻がランプ自体を壊さないようにすることです。私たちは、外殻を設計する際に、熱を密封部分から遠ざけつつ、赤外線エネルギーを正確にウェーハに送り込むようにしています。これにより、温度が安定します。化学的なエッチングや乾燥処理を行う場合、「十分に近い」というだけでは不十分です。均一な温度が必要であり、そうでなければ高価なシリコンが無駄になってしまいます。
正直に言えば、何か代償があります
問題は、このような保護策によって重量が増えることです。システムの質量が増えると、熱容量も増えます。そのため、単純なランプのように瞬時に電源をオン/オフにすることはできません。少し遅れが生じます。その遅れを考慮してPIDコントローラを調整する必要がありますが、これは大惨事を避けるための小さな代償です。
使用方法
これらは、既存の設備にそのまま取り付けられるように設計されています。強化されたケーブルや密封された接続部を使用することで、ガスがケーブルの隙間から漏れ込むのを防ぎます。もし床面が腐食性の高い溶剤で満たされている場合、これが最適な解決策です。これにより、建物全体を危険にさらすことなく、生産を続けることができます。