なぜ、ファブの乾燥処理にIR硬化技術を採用したのか
ファブを運営する上で、「環境に優しく、鉛を含まない」ことは、単に監査のための要件を満たすだけではありません。実際にプロセスをよりクリーンにすることが重要です。長い間、私たちは大規模な対流式オーブンに頼ってきました。しかし、問題点があります。大量の空気を加熱するのはエネルギーの無駄遣いです。さらに、動く空気はほぼダストや微粒子の運搬手段となり、これはウェーハの近くにあっては望ましくありません。
そのため、私たちは赤外線（IR）硬化技術に切り替えました。これにより、空気を使わずに処理を行うことができます。
重要なのはエネルギーの伝達です。
部屋全体を温める代わりに、IRランプは電磁波を直接ウェーハに送ります。まるで寒い日に太陽の下に立つようなもので、周囲の空気が氷点下でも、すぐに熱を感じることができます。
エネルギーは直接、フォトレジストや溶剤中の分子を振動させます。このため、一定の温度に達するために巨大な加熱要素を何時間も稼働させる必要はありません。急速に温度が上昇します。そして、それによって、処理される各ウェーハのエネルギー消費量が大幅に削減されます。
クリーンで環境に優しい処理。
不要な要素を排除すれば、環境基準を満たすのがずっと簡単になります。IRシステムは電力で動作します。燃焼ガスもなく、加熱要素にも鉛を含む合金は使用されていません。つまり、汚れる心配がありません。
これを「ドライプロセス」と呼びます。A地点からB地点へ熱を移すために化学薬品を使う必要はありません。単純に機能するのです。
難しい点（エンジニアリング上のトレードオフ）。
しかし、単に「プラグインして使う」というだけではありません。強度を高くしすぎると、表面が急激に乾燥し、下層に溶剤が残ってしまいます。その結果、気泡や剥離が発生し、歩留まりが悪くなります。
秘密は波長にあります。高速処理が必要な場合は短波を使用し、熱を材料の奥深くまで伝える必要がある場合は中波を使用します。
また、ランプハウジングの冷却ファンには十分注意が必要です。ハウジングが過度に熱くなると、ランプが本来よりも早く壊れてしまいます。
最良の点は、もう重たいオーブンを使う必要がないことです。巨大なオーブンの代わりに、コンパクトな硬化トンネルを使用できます。そうすれば、「環境に優しい」という認証も得られ、スペースも節約でき、処理能力も維持されます。